射頻電源修理

射頻電源是等離子體配套電源，它是由射頻功率源、阻抗匹配器、阻抗功率計組成，是八十年代未期中國新興的高科技領(lǐng)域，很多都應用于射頻濺出，PECCD化學(xué)氣相沉積，反應離子刻蝕等等設備中。SEREN射頻電源被廣泛的應用于半導體、美容等等領(lǐng)域。那么SEREN射頻電源修理詳細修理辦法有哪些呢?
想要更好的進(jìn)行SEREN射頻電源修理就要深入的了解射頻功率源相關(guān)的技能知識。首先要了解其主要技能功能射頻源，有板極電壓200150OV接連可調;板極電流小于等于0.36A，板極直流耗費功率小于等于O0.58KW;輸出功率650OW接連可調;頻率13.56MHZ匹配箱有阻抗、手動(dòng)調理網(wǎng)絡(luò )參數以匹配。

其次就是對于SEREN射頻電源修理幾種故障的判別，

1.在正常的作業(yè)時(shí)如果說(shuō)產(chǎn)生跳閘現象，則說(shuō)明直流電的部分出現了故障問(wèn)題;

2.其間的UA突然變大會(huì )極有或許導致電子管的損壞，而有UA無(wú)LA時(shí)分是驅動(dòng)板有問(wèn)題或許是高頻插頭接觸不良。SEREN射頻電源修理這種修理辦法，UA接線(xiàn)斷、表頭上有UA而電子管上面沒(méi)有;

3.有UALA小無(wú)PFPR。導致這些現象原因是連接射頻源和匹配器或許功率計的電纜插頭與插座接觸不良或許底子沒(méi)有接觸上，SEREN射頻電源修理用鉗子或許鑷子將插座芯向里面挾一下，再用酒精棉球將插頭擦潔凈再插上。UALA較小有PFPR但是較大調不下來(lái)不起輝。原因是匹配器輸出電纜插頭座之間接觸不良，SEREN射頻電源修理解決辦法同樣是使用鉗子或許是鑷子來(lái)向里面挾一下。

4.UALA很大，原因是UGL無(wú)激勵。

5.射頻功率源以及其它外表的裝置，射頻功率源一般用于和等離子設備配套該設備除了主機以及射頻源以外還有其它的真空外表，若是裝置不合理射頻源會(huì )干擾。

看到以上的關(guān)于SEREN射頻電源修理詳細的修理辦法我們是否覺(jué)得還是很簡(jiǎn)單的呢?其實(shí)SEREN射頻電源修理找出來(lái)故障的原因才是困難的，作為操作者*要記住，當射頻電源產(chǎn)生問(wèn)題時(shí)千萬(wàn)不要自己上手去修理，因為其間的元件都是很小體積的，很容易弄丟，且錯誤的修理會(huì )導致更大的故障問(wèn)題，因此操作者""要記住打電話(huà)叫凌科自動(dòng)化工程師上門(mén)修理。此外，在打電話(huà)的時(shí)分**要說(shuō)清楚射頻電源的故障現象，以便于修理人員更好的判別故障問(wèn)題，帶上適宜的修理工具。